세미애널리시스 "중국 반도체 장비 국산화 더 낙관"…AMEC 신규 장비 6종 (2026)
세미애널리시스(@SemiAnalysis_)는 9월 25일 중국 우시에서 열린 CSEAC 2026에 참석한 뒤 중국의 반도체 장비(WFE) 국산화에 더 낙관적이 됐다고 밝혔습니다. 세미애널리시스는 노광이 아닌 장비 분야의 중국 업체들이 첨단 장비에서 눈에 띄는 진전을 보이고 있다고 설명했습니다.
이번 소식
대표 사례로 든 업체는 AMEC입니다. AMEC는 식각, 증착, 에피택시를 아우르는 신규 장비 6종을 내놨습니다.
고종횡비 식각 장비
신규 장비에는 종횡비 70~90:1을 구현하는 Primo XD-RIE HAR 식각 장비가 포함됐습니다. 고종횡비 식각은 3D 낸드처럼 깊고 좁은 구멍을 뚫는 공정에 쓰입니다.
몰리브덴 증착 장비
AMEC는 몰리브덴(Mo) 증착 수요를 겨냥한 Prefima Unicore AM 증착 장비도 공개했습니다. 세미애널리시스는 이 장비가 몰리브덴 증착 확대 흐름에서 기회를 잡기 위한 제품이라고 설명했습니다.
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